激
器，紫
激
，击
模拟
液滴，
强度等离子体
euv源被收集镜捕获汇聚形成?源，源集、传递至刻系统，经刻系统
系列步骤曝晶片。
euv源系统现?实工作，激击液滴这过程是每秒
万次，而在仿真建模，为方便观察，数据比例修改后变成?
可观测。
仿真建模观测小时后，放
雕刻后的晶片，宛如个个充满
来?感的城市。
颂
咽口
，紧张问：“怎么样？”
雷客屏住呼
：“仿真实验结果和当?初预料结果致，如无意外?，方案可行。”
身后传来?阵激的欢呼声，不过很快压
来?，众
纷纷看向没开口的盛明安，他才是实验室的
?心骨，他点
了?才算实验成?功！
但不可避免的，他们此?刻的心脏仿佛被吊到嗓子，紧张得几乎不能呼。
无他，因为前的仿真建模是他们耗费
年、将近
年的成?果！
无数
?夜的数据优化?、改进，从源系统到刻系统，从激器到复杂的双工作
，从反镜到晶圆等部
材料，海量的数据和磅礴的
式计算，千多个?夜的心
全数系在这刻！
盛明安盯着右手边的屏，那是源优化?仿真实验结果，结果表明优化?后的源图形和收敛曲线与预料致，说明——
“方案可行。”
66章星晓[13]红文。
方案可行意味着?他们研阶刻机的方向是对的！
不?仅仅是解决了复杂的源系统,更意味着?他们可以组装?完整的阶刻机系统，包括仿真建模
?，模拟?来的双工作、反镜等?数据都可以应用！
但现?在?不?是兴的时候,仿真建模只是阶刻机制造的步,接?来的设备组装、研制才是关键。
有设计图纸,没有适
的材料、
级工匠和研设备那也是
搭。
雷客：“源系统设备的研制需要专业级的工程师，蓝河科技恐怕手不?
。后期组装也需要其他实验室的研究进度跟得
。”
闻言，颂的笑
僵住：“还有资金和材料,源系统设备材料不?能用普通钢板，还有
度严格的反镜怎么
？”
这些问题早就想到，那时盛明安让他们专心?攻克源系统，以至于直到现?在?用到了才开始愁。
林成建等?不?由担忧，研资金捉襟见肘，新材料倒是可以找华电科，就是不?知道那些新材料是否符标准。
就算新材料符标准,度至皮米的反镜目前
没造得?来。
盛明安：“陈惊璆会解决这些问题。”
科研员只需负责研工作就行。
“好了，忙去吧。”盛明安挥挥手，赶走身后群。
研员现?在?很兴奋,根本?赶不?走，围过来说：“盛工,我再看——这么复杂的源系统真是我设计?来的？！”、“我觉得自己真tm是个
才！”、“脸还在?吗？”
……
众叽叽喳喳凑到屏前陶醉于源系统的仿真建模,盛明安则悄悄
?,离开实验室,回到蓝河科技特意拨给他的室。
?几分钟过后，室的门?突然被撞开，陈惊璆喘着?气跑进来，旋风似的冲到他桌前,两只手撑在?红木桌，俯视盛明安，深呼：“建模能用？”
盛明安抬，点。
陈惊璆笑了，移开目，?刻又移回来看盛明安：“恭喜。”
盛明安：“同喜？”
陈惊璆轻声：“我很兴。”
盛明安：“别兴太早，接?来是刻机设备研阶段，新材料找华电科购
，至于度反镜，我建议找
城机所。”
城
密机械所有个项目就是研度口径碳化?硅反镜，以他们的技术，应该能制造?刻机所需的反镜。
“材料和设备可以找到提供途径，专业工程师不?太易找。陈惊璆你自己想
解决——唔？”
陈惊璆忽然伸手捏住了他的?
，盛明安止住话，疑惑的看过去。
“陈惊璆，你不?兴了？”
“没有。”陈惊璆小小用力捏了捏盛明安的?，咬牙说：“只是突然想罢工。”
“那……”盛明安迟疑着?说：“我室借你躲会
？超过两小时没工作，林工会到
找你了。”
对盛明安?意识的维护和
近，陈惊璆心??
喜
加，忍不?住猜测盛明安是不?是其实知道他的心?思，因为他那么聪明，他是个才，没理由现?不?了。
所以那些撩的话语、近的纵的维护，都源于
意。
可另方面又看得清楚，盛明安没有那方面的任何意思，他心?思比谁都敞亮明净，对他的好仅?于他把他当朋友。
好的朋友。
“陈惊璆？”盛明安喊着?久不??声、眉沉寂的陈惊璆。
陈惊璆扯
笑了笑，掩藏难堪的心?思说：“谢了，那我
