部
片黑暗,若鸿蒙
开的混沌宇宙。
突然前方个闪亮的
点,先是
条
小的曲线包围成
个圆圈,圆圈
心
点亮
逐渐向外?扩张,由圆点扩张成椭圆形,
越来?越盛、越来?越亮,猛然爆
闪亮耀
的
,瞬间照亮黑暗的
部,
条细长
亮的紫
倏然蹿
口,通过圆形长管,进入
束矫正器,通过能量转换器……
终击
直径30m的靶材料(
液滴)。
视角追随其条
线,忽然向后拉远,视角范围
现?数以万计的紫
细长
线穿过
个又?
个圆形长管
后以平均两次击
同?
靶材料电离
原子,释放等离子体?,激
纳米级
子,完成
刻机的曝
步骤。
视角再向后拉远,饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由为这?号称工业皇冠的euv工作时的部所震撼。
激经过多?重反
镜均匀化、收集,投影掩膜,击
靶材料,获取需求
的等离子体?。
接来?是利用收集镜收集等离子体?
散的euv辐
汇聚成
源
送至
刻系统,并经由曝
系统获取
终的ic晶圆。
但盛明安的团队没有后面的两步,只设计了
源系统的实验设计。
秒钟
万次的
频率,不仅需要确保过程不
错,还必须保
准度、
确度,可量产,以及功率利用
化等等……
所以次的实验结果不能
明什么,他们连续实验多?次,记录数据作比对,计算
个
优概率。
键盘噼啪啦的计算,所有
屏息以待。
助手姑娘猛然掐住颂的胳膊,龇牙咧嘴:“giao!怎么样了?!”
颂也疼得龇牙咧嘴,差点猛男落泪:“我?不知道。”
助手姑娘又?没想要他回答,睛悄悄溜向盛明安,
心呜呜穿防尘服的盛工就算从
包到脚还是无比帅气,所以快点告诉她结果吧!
盛明安:“各组报告结果。”
来?了!
众振奋!
组报告:“
氧化碳脉冲激
器无损,功率消耗在预估范围
,
线利用率成功达到2%!”
组报告:“散热系统启
!散热功能正常!”
组报告:“传感器反馈激
和液滴同?步对准,激
等离子体?在预估范围
捕获!”
组报告……
随着个又?
个与仿真?预估无
的报告传入众
耳
,预示着
源系统设备实验验收圆满完成!
众憋着
口气没
声,就等着盛明安总结。
盛明安不负众望,听完各组结果报告,对着扩音器宣:“
阶
刻机
源系统技术研究项目圆满通过验收,”他稍稍提
音量,“我?们的科研项目,激
等离子体?极紫外?
刻
源是——”
“13.5nm!”
原本想欢呼的众脸
刚升起的笑
陡然僵住,瞳孔逐渐放
,呼
急促,不敢置信,纷纷以为自?己的耳朵坏了,他们
现?了幻听。
盛明安语气泻
轻松的笑意:“恭喜
家。”
见众没反应,他回
,疑惑:“你们不满意吗?”
林成建也懵了,小心翼翼询问:“盛工,你刚才说?13.5nm……不是16nm?”
同?盛明安争论了将近半个月早已震惊过的程院长好笑环顾众
表现?不
的样子。
雷客比林成建还小声轻柔:“比asmleuv的14nm还确了0.5nm?”
颂捂着心脏,喃喃说?道:“不是吧……我?整
研究的就是这?么牛
的玩意?”
助理姑娘掐得更?狠了,但颂激
的灵魂和兴奋的神经可以抚平身?体?的疼痛。
“啊,”盛明安意识看向陈惊璆:“你们都有异议吗?”
陈惊璆惊讶过后便是笑:“没有异议。他们惊喜过
了。”
盛明安又?看向林成建等,谁知他们面面相觑,陷入沉默,
秒、两秒、
秒……“啊啊啊啊——!!!”
猛然爆的尖叫声继续震破实验室的
板,要不是固化玻璃隔绝了噪声污染不会影响到实验室设备,热
实验室设备的盛明安就该拉
脸,而负责掏钱
设备的陈惊璆应该会冷脸赶
去了。
但无伤雅的此刻,他们纵
每
个团队成员尽
?放纵无以言表的兴奋和激
。
70章
巍[02]挽狂澜!
源系统设备验收阶段圆满完成,接
来就是
阶
刻机的组装。
除了源系统、双工作
系统和
系统,余
零
所需还有更
确的镜
组、反
镜,以及arf
刻胶等,
暂时还没有研
来。
但这都不是问题。
因为艰难的
源系统和双工作
系统已经被圆满攻破,剩
的arf
刻胶等技术要求很
,可相对来说,难度系数不是特别
。
林成建也很兴奋,他勉强保持冷静,对盛明安和陈惊璆说:“源系统设备验收通过,ic设计部正在攻破20nm以
的鳍式场效应晶体管工艺,尽量保
我们能够
?产
13.5nm工艺以
更
度的芯片。”