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    片黑暗,若鸿蒙开的混沌宇宙。

    突然前方个闪亮的点,先是小的曲线包围成个圆圈,圆圈点亮逐渐向外?扩张,由圆点扩张成椭圆形,越来?越盛、越来?越亮,猛然爆闪亮耀,瞬间照亮黑暗的部,条细长亮的紫倏然蹿口,通过圆形长管,进入束矫正器,通过能量转换器……

    终击直径30m的靶材料(液滴)。

    视角追随其线,忽然向后拉远,视角范围现?数以万计的紫细长线穿过个又?个圆形长管后以平均两次击同?靶材料电离原子,释放等离子体?,激纳米级子,完成刻机的曝步骤。

    视角再向后拉远,饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由为这?号称工业皇冠的euv工作时的部所震撼。

    激经过多?重反镜均匀化、收集,投影掩膜,击靶材料,获取需求的等离子体?。

    接来?是利用收集镜收集等离子体?散的euv辐汇聚成送至刻系统,并经由曝系统获取终的ic晶圆。

    但盛明安的团队没有后面的两步,只设计了源系统的实验设计。

    秒钟万次的频率,不仅需要确保过程不错,还必须保准度、确度,可量产,以及功率利用化等等……

    所以次的实验结果不能明什么,他们连续实验多?次,记录数据作比对,计算优概率。

    键盘噼啪啦的计算,所有屏息以待。

    助手姑娘猛然掐住颂的胳膊,龇牙咧嘴:“giao!怎么样了?!”

    颂也疼得龇牙咧嘴,差点猛男落泪:“我?不知道。”

    助手姑娘又?没想要他回答,睛悄悄溜向盛明安,心呜呜穿防尘服的盛工就算从包到脚还是无比帅气,所以快点告诉她结果吧!

    盛明安:“各组报告结果。”

    来?了!

    众振奋!

    组报告:“氧化碳脉冲激器无损,功率消耗在预估范围线利用率成功达到2%!”

    组报告:“散热系统启!散热功能正常!”

    组报告:“传感器反馈激和液滴同?步对准,激等离子体?在预估范围捕获!”

    组报告……

    随着个又?个与仿真?预估无的报告传入众,预示着源系统设备实验验收圆满完成!

    众憋着口气没声,就等着盛明安总结。

    盛明安不负众望,听完各组结果报告,对着扩音器宣:“刻机源系统技术研究项目圆满通过验收,”他稍稍提音量,“我?们的科研项目,激等离子体?极紫外?源是——”

    “13.5nm!”

    原本想欢呼的众刚升起的笑陡然僵住,瞳孔逐渐放,呼急促,不敢置信,纷纷以为自?己的耳朵坏了,他们现?了幻听。

    盛明安语气轻松的笑意:“恭喜家。”

    见众没反应,他回,疑惑:“你们不满意吗?”

    林成建也懵了,小心翼翼询问:“盛工,你刚才说?13.5nm……不是16nm?”

    同?盛明安争论了将近半个月早已震惊过的程院长好笑环顾众表现?不的样子。

    雷客比林成建还小声轻柔:“比asmleuv的14nm还确了0.5nm?”

    颂捂着心脏,喃喃说?道:“不是吧……我?整研究的就是这?么牛的玩意?”

    助理姑娘掐得更?狠了,但颂激的灵魂和兴奋的神经可以抚平身?体?的疼痛。

    “啊,”盛明安意识看向陈惊璆:“你们都有异议吗?”

    陈惊璆惊讶过后便是笑:“没有异议。他们惊喜过了。”

    盛明安又?看向林成建等,谁知他们面面相觑,陷入沉默,秒、两秒、秒……“啊啊啊啊——!!!”

    猛然爆的尖叫声继续震破实验室的板,要不是固化玻璃隔绝了噪声污染不会影响到实验室设备,热实验室设备的盛明安就该拉脸,而负责掏钱设备的陈惊璆应该会冷脸赶去了。

    但无伤雅的此刻,他们纵个团队成员尽?放纵无以言表的兴奋和激

    70章巍[02]挽狂澜!

    源系统设备验收阶段圆满完成,接来就是刻机的组装。

    除了源系统、双工作系统和系统,余所需还有更确的镜组、反镜,以及arf刻胶等,暂时还没有研来。

    但这都不是问题。

    因为艰难的源系统和双工作系统已经被圆满攻破,剩的arf刻胶等技术要求很,可相对来说,难度系数不是特别

    林成建也很兴奋,他勉强保持冷静,对盛明安和陈惊璆说:“源系统设备验收通过,ic设计部正在攻破20nm以的鳍式场效应晶体管工艺,尽量保我们能够?产13.5nm工艺以度的芯片。”

 

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